真空等離子清洗機為傳統清洗技術帶來了革新。具體表現為：成本低、無廢棄物、無污染，有時可得到傳統的物理和化學方法難以得到的處理效果。它可以根據不同的材料表面改變其性能。等離子體作用于表面，使材料的表面分子化學鍵發生重組，來形成新的表面特性。那么，
真空等離子清洗機相較于其他清洗機有哪些優勢呢？
1、真空等離子清洗使得用戶可以靠近危害溶劑對人體的損害，同時也防止了濕法清洗中更容易洗壞清洗對象的問題；
2、用于等離子清洗，可以使得清洗效率取得很大的提升。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可已完成，因此具備產率高的特點；
3、清洗對象經等離子清洗之后是潮濕的，不必須再經潮濕處置即可送到下一道工序。可以提升整個工藝流水線的處置效率；
4、防止用于三氯乙烷等ODS危害溶劑，這樣清洗后會產生危害污染物，因此這種清洗方法歸屬于環保的綠色清洗方法。這在高度注目環保的情況下越發展現出它的重要性；
5、使用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等照射光線有所不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以了解到物體的識孔眼和凸起的內部已完成清洗任務，因此不必須過多考慮到被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相近甚至更好；
6、用于等離子清洗，防止了對清洗液的運輸、存儲、廢氣等處置措施，所以生產場地很更容易維持清潔衛生；
7、在已完成清洗去污的同時，還可以提高材料本身的表面性能。如提升表面的潤濕性能、提高膜的黏著力等，這在許多應用于中都是非常重要的。
8、等離子清洗必須掌控的真空度約為100Pa，這種清洗條件很更容易超過。因此這種裝置的設備成本不高，再加清洗過程不必須用于價格較為便宜的有機溶劑，這使得整體成本要高于傳統的濕法清洗工藝。
